1. Samþætt hönnun sjónmálms smásjá og smásjá smásjá, öflugar aðgerðir
2. Það hefur bæði sjón smásjá og atómkraft smásjáraðgerðir, sem báðar geta unnið á sama tíma án þess að hafa áhrif á hvort annað
3. Getur starfað í venjulegu loftumhverfi, fljótandi umhverfi, hitastýringarumhverfi og óvirku gasstýringarumhverfi á sama tíma
4.. Sýnishornið og leysir uppgötvunarhausinn eru hannaðir í lokaðri gerð og hægt er að fylla sérstakt gas.
5. Lasergreiningin samþykkir lóðrétta sjónstíg og getur unnið undir vökva með gas-vökva tvískipta rannsaka handhafa
6. Single Axis Drive sýnið nálgast sjálfkrafa rannsakann lóðrétt, þannig að oddinn á nálinni er skannaður hornrétt á sýnið
7. Greind nálar fóðrunaraðferð við mótorstýrða þrýstinginn Piezoelectric keramik sjálfvirk uppgötvun verndar rannsakann og sýnið
8. Ultra-háa stækkun sjón-staðsetningarkerfi til að ná nákvæmri staðsetningu rannsaka og sýnishornsskönnunarsvæði
9. Samþætt skanni Ólínuleg leiðréttingarritstjóri, einkenni nanometer og mælingarnákvæmni betur en 98%
Forskriftir:
| Rekstrarhamur | Snertuhamur, bankaðu á Mode |
| Valfrjáls hátt | Núning/hliðarkraftur, amplitude/fas, segulmagnaðir/rafstöðueiginleikar |
| þvinga litrófsferil | FZ kraftferill, RMS-Z ferill |
| XY skannasvið | 50*50um, valfrjálst 20*20um, 100*100um |
| Z skanna svið | 5um, valfrjálst 2um, 10um |
| Skanna upplausn | Lárétt 0,2nm, lóðrétt 0,05nm |
| Sýnishornastærð | Φ≤68mm, h≤20mm |
| Dæmi um sviðsferð | 25*25mm |
| Ljóssýki | 10x |
| Ljósfræðileg markmið | 5x/10x/20x/50x Plan apochromatic markmið |
| Lýsingaraðferð | Le Kohler lýsingarkerfi |
| Sjónfókus | Gróft handvirk fókus |
| Myndavél | 5MP CMOS skynjari |
| Sýna | 10,1 tommu flatskjá með myndritatengdum mælingaraðgerð |
| Upphitunarbúnaður | Hitastýringarsvið: stofuhiti ~ 250 ℃ (valfrjálst) |
| Heitt og kalt samþætt pallur | Hitastýringarsvið: -20 ℃ ~ 220 ℃ (valfrjálst) |
| Skanna hraða | 0,6Hz-30Hz |
| Skanna horn | 0-360 ° |
| Rekstrarumhverfi | Windows XP/7/8/10 stýrikerfi |
| Samskiptaviðmót | USB2.0/3.0 |
